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泰勒霍普森PGI840轮廓仪

·测量长度:0.1mm-120mm
·移动/测量速度:0.1/0.25/0.5/1.0/10.0mm/s
·

数据采样间隔(X):0.1-15mm测量长度时0.125μm
                              15-30mm测量长度时0.25μm
                              30-120mm测量长度时1μm

·直线度:0.25μm/120mm

 

 

PTI 250RSTM ZYGO干涉仪

·球面半径:R小于109mm
·平面精度:λ/20(N=0.1)
·球面精度:λ/10 (N=0.2)


 

富士能F601球面激光干涉仪

·基准面的精度为λ/20
·可测曲率半径为0~270mm的各类镜片
·有平面基准镜头,可用于平面测量

OSI-60TP平面激光干涉仪

检测平片的面

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